近日,安徽銅陵經(jīng)開(kāi)區(qū)微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料碳化硅晶圓片項(xiàng)目正在加快施工,預(yù)計(jì)今年10月份廠房竣工交付。
該項(xiàng)目總投資13.5億元,新建碳化硅晶體生長(zhǎng)車(chē)間、碳化硅晶圓片加工車(chē)間等,擬購(gòu)置研發(fā)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備和其他輔助設(shè)備793臺(tái)(套)。項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后,預(yù)計(jì)年產(chǎn)碳化硅晶圓片4英寸5萬(wàn)片、6英寸20萬(wàn)片。
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