2025-11-10
半導體潔凈室空調控制系統設計需遵循國際半導體產業協會標準及《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB50472)。系統設計應以工藝需求為導向,綜合考慮環境參數控制精度、系統可靠性及運行能耗等關鍵因素。
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