
近日,年產100噸半導體無塵車間高端光刻材料項目奠基儀式在合肥市新站高新區舉行,投產后將實現光刻膠關鍵材料的本地化供應對新站區集成電路產業的穩定發展具有重要意義。

該項目位于新站高新區潁州路與龍子湖路交口,占地面積共50畝,總投資3億元,旨在打造國內最大的高端半導體DUV級別(ArF/KrF)的光刻膠核心主材料量產基地。產品包括光致產酸劑PAG、BARC層樹脂Resin、光引發劑PI等,同時也提供每個最終產品的中間體及核心單體材料,規劃建設年產能100噸,將于年底竣工并投入使用。

近年來,新站高新區持續培養戰略性新興產業,從“屏”開始,從“芯”出發,逐漸形成了“2+5”產業生態體系。
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